Каталог документов NormaCS
ОСТ 11 14.7006-87 Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Технические требования к технологическому процессу литографии
| ОСТ 11 14.7006-87 входит в следующие классификаторы и разделы | |
| Классификатор ISO | 29 ЭЛЕКТРОТЕХНИКА → 29.100 Компоненты электрооборудования |
| Классификатор ISO | 31 ЭЛЕКТРОНИКА → 31.080 Полупроводниковые приборы |
| Классификатор ISO | 31 ЭЛЕКТРОНИКА → 31.200 Интегральные схемы. Микроэлектроника |
ОСТ 11 14.7006-87 Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Технические требования к технологическому процессу литографии
Обратите внимание! Этот документ войдет в ближайшее обновление.Статус: Информация о статусе доступна в коммерческой версии NormaCS
Утвержден: Минэлектронпром СССР; МЭП СССР, 21.12.1987
Обозначение: ОСТ 11 14.7006-87
Наименование: Микросхемы интегральные и приборы полупроводниковые. Технические требования к технологическому процессу литографии
Дополнительные сведения: доступны через сетевой клиент NormaCS. После установки нажмите на иконку рядом с названием документа для его открытия в NormaCS
Пожалуйста, дождитесь загрузки страницы...